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PCE-8等離子清洗機(jī)

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介:PCE-8等離子清洗機(jī)是一款較大型的等離子清洗機(jī),等離子腔體為 Ø8.5"×12"的石英腔體,采用的射頻電源功率0- 100W連續(xù)可調(diào)節(jié),采用的射頻為13.56MHz。本機(jī)主要是通過(guò)空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來(lái)去除基片上的氧化層和污染物,同時(shí)也可改變物體表面的性質(zhì)(如親水和疏水性等),對(duì)于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設(shè)備在單晶材料外延薄膜生長(zhǎng)以前對(duì)其進(jìn)行預(yù)處理,對(duì)生長(zhǎng)具有顯著的作用PCE-8等離子清洗機(jī)配有一個(gè)直連式雙旋真空泵,可對(duì)腔體進(jìn)行抽真空,同時(shí)通入氬氣等保護(hù)氣體,適用于對(duì)易氧化的物品的清洗。

  

產(chǎn)品型號(hào)

PCE-8等離子清洗機(jī)

主要特點(diǎn)

16"彩色觸摸屏,可控制射頻功率、清洗時(shí)間、氣體流量、真空泵的開啟等

2內(nèi)部配有0-500mm/min的質(zhì)量流量計(jì),可以精確地控制進(jìn)氣流量

技術(shù)參數(shù)

1電源:AC220V

2、射頻功率:100W,可在0-100W間調(diào)節(jié)

3、真空泵功率:<500W

4、總功率:<600W

5、射頻:13.56MHz

6、等離子腔體:高純石英腔體,外徑Ø8.5",內(nèi)徑Ø8.2",長(zhǎng)12",采用鋁制折疊式法蘭進(jìn)行真空密封,法          蘭設(shè)有一個(gè)Ø60mm的觀察窗口

7、極限真空度:50mtorr

8、通入氣體:可通入多種氣體,如N2ArAirH2O2和混合氣體等等(根據(jù)材料性質(zhì)所定)

清洗及蝕刻

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸:620mm×450mm×600mm

可選配件

1300W600W射頻電源(進(jìn)行等離子刻蝕和等離子灰化等實(shí)驗(yàn))

22"-6"石英舟(盛放基片)

32-4通道浮子混氣系統(tǒng)

42-4通道質(zhì)子混氣系統(tǒng)

5、直連式雙旋真空泵(240L/min

6、KF25波紋管

7KF25手動(dòng)擋板閥


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