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PCE-3等離子清洗機(jī)

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產(chǎn)品簡介:PCE-3等離子清洗機(jī)的等離子腔體為Ø75mm×165mm耐熱玻璃腔體輸出功率6.8W10.5W18W三檔可調(diào)。本機(jī)主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物,同時也可改變物體表面的性質(zhì)(如親水和疏水性等),對于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設(shè)備在射頻電源的作用下,去除速率可達(dá)10nm/min。在單晶材料外延薄膜生長以前對其進(jìn)行預(yù)處理,對生長具有顯著的作用PCE-3等離子清洗機(jī)配有一個真空泵,可對腔體進(jìn)行抽真空,同時通入氬氣等保護(hù)氣體,適用于對易氧化的物品的清洗。

PCE-3等離子清洗機(jī)操作視頻

  

產(chǎn)品名稱   PCE-3等離子清洗機(jī)

產(chǎn)品型號

   PCE-3

主要特點

   1使用可調(diào)射頻電源, 可以設(shè)置低、中、高功率。

   2桌上型設(shè)備,結(jié)構(gòu)緊湊、操作安全、環(huán)境友好低成本

技術(shù)參數(shù)

   1輸入電壓:110V/220V50Hz/60Hz (請?zhí)崆斑x定),小于100W

   2、射頻輸出頻率:13.56MHz

   3等離子直流電源:低功率設(shè)定—680V10mA6.8W;中功率設(shè)定—700V15mA10.5W

                   高功率設(shè)定—720V25mA18W

   4、等離子腔室:Ø75mm×165mm,耐熱玻璃,前蓋可拆卸

   5通入氣體:可通入多種氣體,如N2Ar、空氣、混合氣體等,主要根據(jù)處理材料性質(zhì)所定

   6真空泵和閥的要求:>160L/min,極限壓力200mtorr0.27mbar),可選擇數(shù)字真空表,針閥控制氣體流

  量,采用三通閥門快速控制進(jìn)氣、密封等離子腔室、排氣

清洗及蝕刻

 

產(chǎn)品規(guī)格

 尺寸:200mm×250mm×210mm;重量:8kg(不含泵)

注意事項

 不能使用可燃性氣體

可選配件

 本司研發(fā)的電阻真空計

 以Pirani電阻規(guī)在不同真空環(huán)境下的熱傳導(dǎo)性為原理而研發(fā)的一款低真空測量儀器,特別適應(yīng)于從常壓到0.1     Pa非腐蝕性氣體環(huán)境的真空測量。

 


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