主要特征：●超精密滾珠螺桿傳動，線性滑塊導軌；●精度高，承載大；●可選配裝光柵尺，準確輸出移動量，實現閉環控制
| 型號 | HG60TA50 | HG60TA100 | HG60TA150 | HG60TA200 |
| 行程（mm） | 50 | 100 | 150 | 200 |
| 臺面尺寸（mm） | 120×120 | 120×120 | 120×120 | 150×120 |
| 導軌 | 線性滑塊 | |||
| 螺桿導程（mm） | 4 | |||
| 分辨率（mm） | 0.00032 | |||
| 速度(mm/s) | 20 | 40 | ||
| 重復定位精度（mm） | ＜0.001 | |||
| 軸向間隙（mm） | ＜0.004 | |||
| 步進電機（1.8°） | 42步進電機 | |||
| 靜轉矩(Ncm) | 40 | 50 | ||
| 中心負載（kg） | 20 | 30 | ||
| 自重（kg） | 4 | 6 | 8.5 | 12.5 |
| 備注 | 可選配防護罩，應用真空環境中，需單獨訂貨 | |||
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