樣品變溫臺特點使用直流電,噪聲低配備隔離套裝,實現P電信號測試精度隔絕水循環對chuck底座進行過溫保護易于拆裝,可以在絕大多數探針臺上加裝規格真空吸附載物臺的尺寸4,6,8,英寸直徑
樣品變溫臺 | ||
特點 | ||
使用直流電,噪聲低 | ||
配備隔離套裝,實現P電信號測試精度 | ||
隔絕水循環對chuck底座進行過溫保護 | ||
易于拆裝,可以在絕大多數探針臺上加裝 | ||
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規格 | ||
真空吸附載物臺的尺寸 | 4, 6, 8,英寸直徑;厚度為1英寸 | |
Chuck 平整度 | ±10 微米 | |
控溫范圍 | 常溫到300攝氏度(或更高溫度) | |
控溫精度 | 0.1℃ | |
溫度穩定度 | ±1% | |
從25 ℃開始升溫時間 | 100 ℃ 150 ℃ 200 ℃ 300 ℃ | |
(4 英寸chuck,單位: 分鐘 ) | 1:00 2:30 3:00 4:30 | |
電源 | 直流 | |
材質 | 不銹鋼 | |
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需求 | ||
供電 | 220V AC, 60Hz | |
電力消耗 | 4英寸chuck 700W | |
| 6英寸chuck 1000W | |
| 8英寸chuck 1500 W | |
真空 | -250 mmHg, 7 liter/min | |
循環水 | 20 Liter/Min | |
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尺寸 | ||
控制器 350mm長 x 300mm寬 x 150mm高 | ||
重約20 Kg | ||
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附件 | ||
高溫配件,可以升溫至300 ℃, 400 ℃, 500 ℃, 600 ℃, 700 ℃ | ||
低溫配件,可以冷卻至5 ℃, -50 ℃, -65 ℃, 或者低溫至-196 ℃ | ||
用于其他品牌探針臺的安裝轉接口 | ||
方形chuck | ||
加速升溫配件 | ||
水冷箱 | ||
更低電流測試用的屏蔽裝置 | ||
真空腔體 | ||
測試屏蔽腔體 | ||
真空吸附的chuck | ||
鍍金的chuck | ||
鍍鎳的chuck |
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