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X-MaxN 的晶體尺寸從適合于微米分析的20 mm2到納米材料分析150 mm2的共四種可選。尤其是150 mm2為當今晶體面積zui大的探測器,分析速度至少是普通探測器的兩倍。
總覽
探測器晶體尺寸可選,分別為150 mm2,80 mm2,50 mm2,20 mm2
無論晶體面積或大或小,X-MaxN 的分辨率始終如一的好——并符合標準ISO15632:2012
無論晶體尺寸如何,能譜儀外管尺寸及在電鏡中的位置**,確保相同條件下,計數率的增加只源于晶體尺寸的增加
強大的低能端分析,所有晶體面積的能譜儀均保證由Be開始
與上一代X-Max同,無論SEM或FIB均使用同一界面
無論晶體面積如何,優異的性能始終如一
因其*地外置型FET場效應管設計,X-MaxN 的分辨率*不受晶體面積變化的影響始終如一,且保證全部具有優異的低能端檢測性能
探測器外管尺寸相同,意味著相同條件下,計數率僅與晶體面積有關
保證所有晶體面積的能譜儀均具有優異的能量分辨率
出眾的低能端分析性能,保證所有尺寸的能譜儀皆可探測到Be元素
使用大面積能譜儀意味著:
低束流下有足夠的計數率
盡可能高的實現圖像的可視性及準確性
無需為能譜分析改變SEM的條件
在相同束流下,*地提高計數率
縮短采集時間
統計性更高
實現小束斑下的能譜分析
提高能譜檢測的空間分辨率
盡可能體現高分辨電鏡的優勢
晶體面積越大,X-射線計數效率越高
相同條件下,晶體面積越大:
以前需要幾分鐘完成的工作,現在僅需要幾秒鐘——面/線分布更易獲得
采集時間相同,可*地提高分析精度及統計性
大面積能譜儀——快速獲得所有顯微分析結果
優異的低能端分析性能
X-MaxN 為低能端元素的分析做了巨大的優化——無論何種尺寸,均*的表現出優異的低能端分析性能
所有尺寸的能譜儀均可保證檢測到Be,可獲得SiLI峰的面分布
超大面積的能譜儀——均具有優異的低能端分析性能
優異的空間分辨率
高空間分辨率,X射線擴展區域更小
大面積能譜儀可以在低加速電壓及低束流下采集X-射線
納米尺度的特征可以更好的被檢測到
超大面積的能譜儀——使高級的納米分析成為可能
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