電感耦合等離子體質譜儀（ICP-MS）應由電感耦合等離子體離子源、四級桿離子透鏡、四級桿碰撞反應池、四極桿質量過濾器、離子檢測系統等部分構成。由微機和必要的軟件對儀器進行控制，并進行數據獲取、壓縮、處理顯示和存儲。質譜儀還應該包括維持高真空的所有設備，以及進行常規溶液樣品霧化的進樣系統。ICP-MS的功能應包括樣品引入、原子化、離子化和質量分析，進行樣品的定性確認、定量成分分析元素成分的同位素分析

1 質量范圍：3－280amu
2 質量分辨率：多元素分析不同元素可以設置不同的分辨率，在一次分析中分辨率0.3amu－3.0amu連續可調。
3 線性動態范圍：系統的線性動態范圍至少9個數量級，數據偏離線性不超過5％。
4 豐度靈敏度：在M＋1處優于10⁷，在M－1處優于10⁶。
5 背景穩定性：定義為220amu處背景信號的平均值，低于1cps。
6 交叉污染與記憶效應：在正常的儀器運行條件下，絕大部分元素應在30秒內清洗使信號降低到原來信號的0.1%以上。
7 多電荷離子：在正常的儀器運行條件下，Ce⁺⁺的峰強度小于Ce⁺強度的3％。
8 質量校準穩定性：小于0.05amu每天，無需使用多點尋峰算法。
9*穩定性：定義為10 µg/L的²⁴Mg， ⁶³Cu， ¹¹⁴Cd， ²⁰⁸Pb 混合多元素溶液平均信號的標準偏差，不加內標，每10分鐘測量一次。 4 小時穩定性 <3%RSD
10 數據獲取：系統掃描譜圖的速度為5000amu/s，為測量ETV、FIAS和LA等進樣裝置產生的瞬時信號，系統應可以采用單點跳峰測量方式，每個選定的峰的測量時間可以為100 µs。 
11 時間分辨數據獲取：為監測瞬時時間分辨信號，ICP-MS系統應在1秒內完成50個全譜的掃描。
12 精密度：定義為10 µg/L的²⁴Mg， ⁶³Cu， ¹¹⁴Cd， ²⁰⁸Pb 混合多元素溶液平均信號的標準偏差，3秒積分，連續測定10次。<3%RSD。
13 靈敏度、雙電荷離子、氧化物離子、背景和檢出限：在同樣一個儀器條件下，¹¹⁵In的靈敏度應在150´10⁶ cps/ppm 以上，同時Ce⁺⁺的峰強度小于Ce⁺強度的3％，CeO⁺/Ce⁺的比值應低于3％，220amu處背景信號的平均值應低于1cps，以每個質量數只測量一個點的單點跳峰方式和3秒的積分時間，測量空白的標準偏差的3倍進行計算，¹¹⁵In的檢出限應優于0.1ppt。
14同位素比精密度：定義為 25 µg/L的銀溶液中 ¹⁰⁷Ag/¹⁰⁹Ag 的同位素比精密度，使用單點跳峰方式進行測量。 <0.08% RSD