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XE7經濟型AFM

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XE-7 經濟型原子力顯微鏡

Park XE7配有Park Systems的所有技術，而且價格十分親民。與Park Systems的其他高級型號相比，XE7在細節的設計上也相當用心，是幫助您準時且不超預算地完成研究的理想之選

概述

*的高性能

在同級產品中，Park XE7能夠帶來納米級分辨率的測量效果。得益于*的原子力顯微鏡架構，即獨立的XY軸和Z軸柔性掃描器，XE7能夠實現平滑、正交且線性的掃描測量，從而精確成像和測量樣品的特征。此外，Park所*的True Non-Contact™模式還能為您帶來的圖像效果，探針可以在多次掃描后圖像的分辨率仍不會受影響。

高效且易于使用

Park XE7擁有簡潔的圖形用戶界面和自動化工具，即便是初學者也可以快速地完成對樣品的掃描。無論是預準直探針、簡單的樣品和探針更換、輕松的激光準直、自上而下的同軸視角以及用戶友好型掃描控制和軟件處理，XE7能夠全力推動研究生產力的提高。

兼顧當前需求和未來升級

在Park XE7的幫助下，現在與未來皆在您的掌控中。Park XE7帶有業內多數量的測量模式。這些模式不僅能滿足您目前的需求，也考慮到未來不斷變化的需求。再者，XE7具有市場上開源的設計，允許您整合其他附件和儀器，從而滿足您特殊的研究需求。

經濟實用

Park XE7不僅僅是實惠的研究級原子力顯微鏡，也是總體成本低的原子力顯微鏡。Park XE7中所搭載的True Non-Contact™模式讓用戶無需頻繁更換昂貴的探針，并且它配有業內多的掃描模式，兼容性，讓您可隨時升級系統功能，從而延長產品的使用壽命。

技術信息

通過消除串擾進行準確的XY掃描

Park Systems的*串擾消除(XE)掃描系統能夠有效解決上述問題。我們使用了二維柔性平臺專門掃描樣品的XY軸位置，并通過壓電疊堆傳動裝置專門掃描探針懸臂的Z軸位置。用于XY軸掃描的柔性平臺采用了固體鋁材，其具有超高的正交性和出色的平面外運動軌跡。柔性平臺可在XY軸掃描大型樣品（1 kg左右），頻率達100 Hz左右。由于XY軸的帶寬要求遠低于Z軸的帶寬要求，因此該掃描速度已然足夠。用于Z軸掃描的壓電疊堆傳動裝置具有大的推拉力和高共振頻率（約10 kHz)。

圖9展示了XE系統(a)和傳統原子力顯微鏡(b)掃描硅片時，未處理的成像圖。由于硅片屬于原子級光滑材料，因此圖像中的彎曲大多數是掃描器所引起的。圖9(c)展示了圖9中(a)(b)圖像的橫截面。由于管式掃描器本身帶有背景曲率，因此當X軸的位置移動15 μm時，平面外移動大可達80 nm。而在相同的掃描范圍內，XE掃描系統的平面外移動則不超過1 nm。XE掃描系統的另一大優勢是Z軸伺服回應。圖10是XE掃描系統在無接觸模式下拍下的一個多孔聚合物球體（二乙烯苯）的圖像，其直徑大約為5 µm。由于XE掃描系統的Z軸伺服回應極其精準，探針可以精確地沿著聚合物球體上的大曲率以及小孔平面結構移動，而不會壓碎或粘連在其表面上。圖11是Z軸伺服回應在平坦背景上高性能的表現。

通過通過真正的非接觸™模式獲得真實的表面形貌

在True Non-Contact™模式中，探針與樣品的距離在相互原子力的控制下，被成功地控制在幾納米之間。探針振動幅度下，大大減少了探針與樣品的接觸，從而完好地保護了探針和樣品。

針尖壽命更長，樣品損壞更少

原子力顯微鏡探針的十分脆弱，這使得它在接觸樣品后會快速變鈍，從而限制原子力顯微鏡的分辨率和圖像的質量。對于材質較軟的樣品，探針會破壞樣品，導致其高度測量不準確。相應地，探針保持完整性意味著顯微鏡可以持續提供高分辨率的精確數據。XE系列原子力顯微鏡的真正非接觸模式能夠*程度保護探針，從而延長其壽命，并減少對于樣品的破壞。下圖中以1:1的長寬比展示了XE系列原子力顯微鏡掃描淺溝道隔離樣品的未處理圖像，該樣品的深度由掃描電子顯微鏡(SEM)確定。在成像20次之后，探針幾乎有沒任何磨損。

Park XE7特性

  • 二維柔性平板掃描儀，掃描范圍為10 µm x 10 µm

    XY軸掃描器含有對稱的二維柔性和高強度壓電疊堆，可在保持平面外運動少的情況下，實現高正交運動以及納米級樣品掃描下的高響應度。緊湊且堅固的結構是為了低噪聲高速伺服回應而設計的。

  • 柔性High Force Z掃描儀

    憑借著高強度壓電疊堆和柔性結構，其可以允許掃描器以更高的速度縱向移動，這是傳統原子力顯微鏡中掃描器所無法做到的。大Z軸掃描范圍可從標準的12 µm增至40µm（選購遠距離Z軸掃描器）。

  • 滑動鏈接SLD

    燕尾式軌道設計，輕松更換原子力顯微鏡鏡頭。借助超輻射發光二極管(SLD)的低相干性，顯微鏡可精確成像高度反光表面和精密測量pico-Newton力對距光譜。此外，超輻射發光二極管的波長也解決了干擾問題，讓用戶可隨意在可見光譜實驗中使用原子力顯微鏡。

  • 無障礙樣品架

    *的鏡頭設計可掃描尺寸為100 mm的樣品，且可輕易從側面更換樣品和探針。

  • 手動XY樣品臺

    在手動XY軸樣品臺的精確控制下，樣品的測量定位變得簡單。XY軸樣品臺的行程范圍是13 mm x 13 mm。

  • 手動光學平臺

    同軸鏡頭可手動調焦。

  • 帶有控制器板中的DSP板的Park XE控制電子設備

    原子力顯微鏡的納米級信號是由高性能的Park XE電子控制器所控制和處理的。憑借著低噪聲設計和高速處理單元，Park XE電子控制器成功實現了True Non-Contact™模式，這是納米級成像和精確電壓電流測量的選擇。
    • 高性能處理單元，頻率達600 MHz，處理速度高達4800 MIPS
    • 低噪聲設計，帶來精確的電流電壓測量
    • *系統，融合各種掃描探針顯微鏡技術
    • 外部信號獲取模塊，獲取原子力顯微鏡輸入/輸出信號
    • 大16幅數字圖像
    • 大分辨率：4096 × 4096
    • 16位ADC/DAC，頻率為500 kHz
    • 隔離通過TCP/IP連接的電腦電噪聲

掃描模式

支持行業中泛的SPM模式和選項

現如今，研究院需要描述不同測量條件和樣品條件下的各類物理性質。Park Systems帶來業內多的掃描探針顯微鏡模式、多的原子力顯微鏡選擇和的兼容性和升級性，讓樣品*的表征掃描變得簡單。


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