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終端控制的 Sion™ 射頻檢測器

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  • 概述
  • 下載

功能

  • 輕松方便地替換基于 OES 的儀器，實現更精確的終點控制
  • 消除因蝕刻不足或蝕刻過度導致的腔室清洗，降低時間和材料成本
  • 降低所需干凈氣流級別和成本
  • 無需執行腔室窗口維護和更換，延長了工具運行時間

手冊

  • Sion RF Detector for Endpoint Control |中文| |EN| |DE| |ES| |日文| |??|

其他文件

  • STC Product Line Card.pdf |中文| |EN| |DE| |ES| |日文| |??|


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