?  適用于大多數樣品，包括薄片、粉末、碎片、透明與非透明樣品，無需對樣品進行噴碳或噴金處理 。
?  可通過不同大小的光孔對礦物或試樣進行微區分析（小50~100μm），還可通過對束斑大小的調節，得到礦物未知成分的平均值。
?  電子束激發X射線熒光強度高，強度要大于X射線激發源的激發強度約4-5個數量級，分析靈敏度高，測試時間短。
?  電子束入射樣品深度很淺（僅僅為1-2μm左右），是真正的表面分析。
?  除激發的特征X射線被探測以外，沒有其他的噪聲信號被探測，分析結果更準確
?  探測器可探測的元素范圍為11(Na)～92(U)。特別是對Na, Mg, Al, Si, P, S, Cl, K, Ca, Ti, V, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Zn等主量元素的分析結果靈敏度高，譜線重復性好。
?  全分析，內建診斷功能，全自動操作，一鍵式分析軟件，操作簡便。