等離子體監(jiān)測系統(tǒng)

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公司名稱 頂尖科儀（中國）股份有限公司
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廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
更新時間 2021/3/19 23:19:11
訪問次數(shù) 158

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2020年01月08日至 2020年02月08日

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模內(nèi)澆口分離自動化，降低對人的依賴度；傳統(tǒng)的塑膠模具開模后產(chǎn)品與澆口相連，需二道工序進(jìn)行人工剪切分離，模內(nèi)熱切模具將澆口分離提前至開模前，消除后續(xù)工序，有利于生產(chǎn)自動化，降低對人的依賴。

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等離子體監(jiān)測系統(tǒng)

PlasCalc等離子體監(jiān)控系統(tǒng)通過測量等離子體反應(yīng)腔的發(fā)射光譜，實時監(jiān)測反應(yīng)腔內(nèi)的等離子體組分和密度、等離子體溫度、電子密度等參數(shù)。由等離子體發(fā)射光譜的強度值可計算得出等離子組分、顆粒密度及電子密度；由同一電子的能量吸收譜線同另外譜線的對比可計算得出電子溫度。測量輸出結(jié)果，可反饋控制等離子體的發(fā)生，從而獲得優(yōu)質(zhì)的反應(yīng)流程和效果。

PlasCalc等離子體監(jiān)控系統(tǒng)主要包括：高性能線陣CCD光譜儀、傳輸光纖、接收透鏡、過程監(jiān)控裝置及測量分析軟件。

PlasCalc應(yīng)用于測量等離子體鍍膜沉積情況，監(jiān)測等離子濁刻，檢查表面清潔處理，分析等離子反應(yīng)腔控制情況，監(jiān)測異常污染排放現(xiàn)象，磁控濺射、光學(xué)鍍膜、終點測量、開發(fā)等離子過程的監(jiān)測和控制優(yōu)化。

PlasCalc等離子體監(jiān)控系統(tǒng)基本性能：
◆測量范圍：測量發(fā)射光譜獲得等離子體組分/密度/電子溫度等參數(shù)
◆光譜范圍：200-1100nm
◆探測器：2048像素CCD
◆光譜分辨率：1nm
◆A/D轉(zhuǎn)換：14位
◆通訊方式：USB1.1
◆供電方式：直流12V；1.25A
◆應(yīng)用場合：等離子體鍍膜沉積/等離子體監(jiān)測/安全監(jiān)控/反映過程優(yōu)化/終點測量

PlasCalc等離子體監(jiān)控系統(tǒng)應(yīng)用軟件
◆實時在線監(jiān)測等離子過程的發(fā)射光譜
◆監(jiān)測和控制的雙屏幕技術(shù)
◆8數(shù)字量輸入/輸出；4模擬量輸出
◆終點、啟動、停止及限位的信息音提示

備選附件
◆SpecLine Software：峰值查找和譜線辨別
◆UV & UV-VIS & NIR 傳輸光纖
◆COL-UV-6 & COL-UV-30準(zhǔn)值透鏡
◆VFT真空接管
◆PVFT-UVX & PVFT-UVX真空法蘭接頭