六軸位移臺/六足位移臺HybridHexapod-高精度昊量光電推出全新一代高精度六軸位移臺HybridHexapod采用了與傳統6自由度(6-D)定位設備不同的方法，并以競爭力的價格展示了更高的性能

六軸位移臺/六足位移臺Hybrid Hexapod-高精度

昊量光電推出全新一代高精度六軸位移臺Hybrid Hexapod采用了與傳統6自由度(6-D)定位設備不同的方法，并以競爭力的價格展示了更高的性能。六軸位移臺Hybrid Hexapod結合了精密XY單片工作臺、三腳架和連續旋轉的Theta- Z軸，而不是6個獨立的腿(和12個連接接頭)，提供的整體性能。這使得傳統的六足位移臺運動學過時了，在精度、路徑性能、速度、剛度和更大的工作范圍上都有了數量級的改進，幾乎可以無限的XY行程，可編程的工具中心點位置。

六軸位移臺Hybrid Hexapod具有小于100nm的三維6軸點精度重復性，使其成為、、光子學、半導體、計量和醫療設備領域以及所有微加工項目的關鍵任務應用的關鍵技術。

傳統的六足位移臺無法達到亞微米的精度，因為它們需要精確協調所有六個軸的運動來完成一個運動輪廓，即使這個要求只是一個簡單的單軸運動。此外，盡管人們普遍認為六足位移臺比串行堆疊的多軸系統表現出良好的剛度，但這實際上只是在垂直的“Z”軸上，在“XY”平面上存在弱點。

特點

• 高精度交叉滾柱導軌

• 直接讀取增量或使用編碼器控制所有承軸

• 線性電機和/或滾珠絲桿驅動器

• 無限制編輯工具中心點位置和坐標位移

• 所有承軸零間隙

主要參數

• XY軸行程60mm和100mm，蕞大450mm（無限制XY行程）

• Z軸行程62mm（其他同類產品蕞大208mm）

• Tip/Tilt 行程 ±30 Deg, 連續可調 360 Deg Theta-Z

• XYZ 雙向重復性小于 ±100nm

• 角度雙向重復性小于 ±0.6 arc-sec

• XY軸位移速度可達100mm/s，Z軸位移速度可達20mm/s Z (大于線性電機版)

• 線性不穩定性小于20nm，角不穩定性小于0.1 arc-sec

  
  

  
  

  
  

應用

• 非球面和自由光光學檢測

• 封裝與探測硅光子

• 激光微加工（非平面基板和錐度控制）

• 晶圓測量

• 相機模塊的對準與裝配

• 傳感器/圖像穩定性測試

• 光學元件的耦合

迷你六軸位移臺MINI Hybrid Hexapod

迷你六軸位移MINI Hybrid Hexapod是自動鏡頭對準/粘接到陣列的理想選擇。它在構建相機陣列模塊、平移式OIS、用于手機相機和等日常產品中的微型相機

的望遠鏡集成鏡頭方面都很有幫助。任何需要6度自由定位的納米/弧秒級增量運動和重復性的應用都非常適合該產品，因為產品傳感器分辨率的提高推動了對更高精度的需求。

大角度六軸位移臺Angulares Hybrid Hexapod

到目前為止，大角度六軸位移臺Angularstm Hybrid Hexapod的60度tip/tilt行程是市面上任何六自由度(6-DOF)定位器所能提供的zui大角度行程范圍。它非常適合應用于非球面和自由曲面光學計量，硅光子學封裝和探測，激光微加工(非平面基片和錐度控制)，晶圓計量，相機模塊對準和裝配，傳感器/圖像穩定測試，以及光學元件和光纖對準。

大角度六軸位移臺具有精密交叉滾子軸承導軌，光學增量或編碼器反饋在所有軸，直線電機和/或伺服滾珠絲杠驅動器，無限可編程的工具中心點位置和坐標偏移，和零后座力。它能夠無限XY位移,Z軸位移在使用其它三腳架模式下62mm增加到208mm，連續360度Theta-Z下的60度tip/tilt行程(+/- 30度)， XYZ雙向重復性小于+/- 0.6角秒，速度高達100mm/s  XY和Z，小于10nm的線性和0.1弧秒的小增量角運動。

ALIO’s Hybrid Hexapod® 為 6D Motion 提供了一種革命性的方法，與傳統的六足設計相比，精度高出一個數量級，行程更長，速度更快，剛度更大。

和市面上主要的同類產品相比，ALIO’s Hybrid Hexapod®的優勢顯而易見。下面的視頻也可以更加直觀的感受到運動控制的體驗：

同時幾種定制化配置可以滿足你更多的需求：