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陷波 - 反射濾光片
多層反射濾光片是全介電反射器，可在特定 VUV 到 UV 波長下提供高反射率，同時傳輸更長波長的 UV 到 IR 光。 濾光片設計用于 45 度 AOI。
可提供峰值波長 >250 nm 的定制紫外線濾光片，其 DUV-VUV 透射率低于 ~210 nm。
注意：鍍膜可應用于 Acton 標準基材、定制基材和客戶提供的材料 (CSM)。
VUV/UV 反射濾光片 - Acton 標準濾光片基板上的 45° AOI
波長 | 峰值反射率 | 1.0” 零件號 | 1.5” 零件號 | 2.0” 零件號 |
126nm | ≥ 40% | M126-3045-1D | M126-3045-1.5D | M126-3045-2D |
146nm | ≥ 45% | M146-3045-1D | M146-3045-1.5D | M146-3045-2D |
157nm | ≥ 82% | M157-3045-1D | M157-3045-1.5D | M157-3045-2D |
172nm | ≥ 82% | M172-3045-1D | M172-3045-1.5D | M172-3045-2D |
185nm | ≥ 82% | M185-3045-1D | M185-3045-1.5D | M185-3045-2D |
193nm | ≥ 82% | M193-3045-1D | M193-3045-1.5D | M193-3045-2D |
200nm | ≥ 90% | M200-3045-1D | M200-3045-1.5D | M200-3045-2D |
208nm | ≥ 90% | M208-3045-1D | M208-3045-1.5D | M208-3045-2D |
212nm | ≥ 90% | M212-3045-1D | M212-3045-1.5D | M212-3045-2D |
220nm | ≥ 90% | M220-3045-1D | M220-3045-1.5D | M220-3045-2D |
240nm | ≥ 90% | M240-3045-1D | M240-3045-1.5D | M240-3045-2D |
248nm | ≥ 90% | M248-3045-1D | M248-3045-1.5D | M248-3045-2D |
254nm | ≥ 90% | M254-3045-1D | M254-3045-1.5D | M254-3045-2D |
260nm | ≥ 90% | M260-3045-1D | M260-3045-1.5D | M260-3045-2D |
266nm | ≥ 90% | M266-3045-1D | M266-3045-1.5D | M266-3045-2D |
280nm | ≥ 90% | M280-3045-1D | M280-3045-1.5D | M280-3045-2D |
300nm | ≥ 90% | M300-3045-1D | M300-3045-1.5D | M300-3045-2D |
320nm | ≥ 90% | M320-3045-1D | M320-3045-1.5D | M320-3045-2D |
340nm | ≥ 90% | M340-3045-1D | M340-3045-1.5D | M340-3045-2D |
352nm | ≥ 90% | M352-3045-1D | M352-3045-1.5D | M352-3045-2D |
360nm | ≥ 90% | M360-3045-1D | M360-3045-1.5D | M360-3045-2D |
注：175nm 以下濾光片的基材是 CaF2 和 175nm 以上的熔融石英
顯示了典型的樣品鍍膜性能曲線。 可根據要求提供特定的設計曲線，包括反射率和透射性能。
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