產品簡介

平臺快速及微調1micron重復性的上下功能，搭配點針卡加功能可作元件Die Stepping的Die To Die應用，晶圓卡盤配置XY旋鈕配置增加握感，使元件達到快速25mm/轉及精細調整10micrn重復性，廣受半導體廠及IC設計公司好評。

功能特點

大旋鈕高精度工作臺；齒隙自由移動；適用于12個探針座的安裝；可安裝4.5”英寸探針卡支架；平臺高度可調；探針座備用區；用于方便鏡頭切換的顯微鏡仰角

應用

基礎IV/CV；射頻，單寬頻探測；高壓、大電流

配件

帶溫度控制器的熱卡盤

防震桌

屏蔽箱

規格參數

探針臺面積

760 mm 寬 x 660mm 深

探針臺高度

450 mm (到壓板)/700 mm (到顯微鏡)

探針臺重量

80kg

壓板材料

硬鉻電鍍鋼

壓板尺寸

250 mm內部, 450mm 外部

壓板容量

12 DC 或 4 RF 4 DC

定位器安裝

磁性ON/OFF開關

真空開關的數量

4

平臺z軸移動范圍

25 mm (精調), 6 mm (快速)

平臺z向精度

1 µm

平臺z向運動

齒輪和鏈條（精調），杠桿（快速）

卡盤材料

不銹鋼

卡盤臺類型

大旋鈕高精度工作臺

卡盤行程范圍

6” x 6”

卡盤快速移動

Y型導軌快速移動，可輕松裝載樣品

卡盤精度

1 µm

卡盤Theta粗調行程

360?

卡盤Theta精度

0.01?

大旋鈕卡盤移動

高精度線性探針臺

卡盤大小

6” (150 mm)

卡盤平面度

3 µm

卡盤剛度

15 µm / 10 N @ 邊沿

卡盤真空槽

中心，0.5”, 1.5” ,2.5”（單獨控制）

卡盤偏置容量

可達到 2 kV

卡盤隔離

5 G?

DUT 尺寸范圍

2 mm - 150 mm

顯微鏡滑臺類型

高精度線性探針臺

顯微鏡滑臺精度

1 µm

顯微鏡滑臺行程范圍

2” x 2”

顯微鏡仰角（可選）

35?

顯微鏡變焦范圍

1x - 5x

顯微鏡目鏡

20x

顯微鏡放大范圍

20x-100x

探針座都提供X-Y-Z直線運動行程，無齒隙，安裝選項包括磁鐵、真空或磁鐵開關

EB-050

精度：0.8µm

螺釘分辨率：212µm

行程范圍：線性12 mm X-Y-Z尺寸：52 mm W X 96 mm D X 76 mm H重量：550 g

用途：支持DC/RF

EB-700

精度：2µm

螺釘分辨率：630µm

行程范圍：線性12 mm X-Y-Z尺寸：38 mm W X 62 mm D X 45 mm H重量：200 g

用途：僅DC

EB-005

精度：0.3µm

螺釘分辨率：125µm

行程范圍：線性12 mm X-Y-Z尺寸：90 mm W X 130 mm D X 90 mm H重量：1000 g

用途：支持DC/RF

VFT-3636

尺寸：36” W x 36” D x 36” H

垂直固有頻率：1.5 Hz

隔離效率：@ 5 Hz 85％

水平固有頻率：1.2 Hz

隔離效率：@ 5 Hz 91％

空氣需求量：80 psi

凈負載：200kg

材質：鋼桌面