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Bristol非接觸式光學測厚儀

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BristolInstruments提供了一系列測厚儀產品,可方便地測量厚度,并具有的測量精度以及重復性,以適用于大部分的應用需求

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Bristol Instruments提供了一系列測厚儀產品,可方便地測量厚度,并具有的測量精度以及重復性,以適用于大部分的應用需求。更重要的是,這些產品采用了一種極為有效的技術,即使用非接觸式光學探針進行無損檢測,同時這種技術還可以同時測量多層膜的厚度。

  產品特點:

  可測量硬材料和軟材料,并且不會造成損壞或變形

  用于精確定位測量位置的可見光束

  同時測量多達31層

  測量光程: 12mm/ 40mm/80mm

  測量精度: ±0.1 μm/±1μm

  使用內置的固有長度標準進行連續校準

  測量置信水平≥99.7%

  可追溯至NIST標準

  測量頻率高達20赫茲

  使用USB或以太網進行PC通訊

  提供基于Windows的光學測量軟件,用于設置測量參數和輸出測量數據

  使用LabVIEW、.NET或自定義編程進行自動數據報告,無需專用PC

  軟件測量界面:

  應用領域:

  光學元件和透鏡組件

  可測量單個鏡片以及鏡頭組包括空氣間隔

  隱形眼鏡和

  測量中心厚度、矢高和群折射率

  窺鏡

  可同時測量壁厚、內徑和外徑,管壁厚度、管頸和管錐的壁厚

  LCD, LED, OLED 和AMOLED顯示屏

  可測量總厚度和各層厚度,包括LOCA(液體光學透明粘合劑)層

  半導體

  硅/砷化鎵晶片

  玻璃拋光

  測量化學腐蝕前后的厚度或拋光工藝,使玻璃板更薄、更輕。


  Optional:

  Lensthick 非接觸式光學測厚儀

  產品特點:

  LensThick集成了Bristol非接觸式光學測厚儀,系統集成化程度較高,增加了電動升降臺和傾斜平移一體調節臺,將測厚儀主機和高性能工控機集成在定制機柜里,并配備了高清顯示器,此外還開發了全中文人機交互軟件,軟件可實時顯示被測試產品的厚度和干涉信號,以便實時調整。軟件支持自動峰值模式,使用操作員創建的樣品設計文件,可以定義最多32個反射面(31層)的預期峰值位置,可自動識別在的閾度內預期峰值位置的峰值,從而計算并輸出每層的厚度。此外,軟件還帶有判據功能,即超出設計值的公差范圍,數據顯示為紅色。這些功能對質量控制是非常快速有效的。軟件還可根據用戶材料色散方程系數,自動計算出材料的群折射率并保存。針對同其它設備和產線集成,軟件還可通過TCP/IP形式將實時測量結果發送給其它設備。


  LensThick ATW/ATS 系列全自動光學測厚儀

  設備特點:

  LensThick ATW配備晶圓測試模組,LensThick ATS配備單鏡片測試模組;

  配備非接觸式光學測厚儀,測量精度高,速度快,且不會對樣品造成損傷;

  采用大理石組合結構,穩定性高

  XY平臺采用直線電機及高精度光柵尺,重復定位精度±0.001mm,位置精度±0.001mm;

  采用CCD圖像識別定位,運用高精度算法,準確可靠;

  測量時通過CCD圖像校正,保證測量中心位置準確;

  主要配置/設備關鍵部件:

  非接觸式光學測厚儀

  XYR平臺參數:

  平面度:±0.005mm

  直線度:±0.005mm

  重復定位精度:±0.001mm

  位置精度:±0.001mm

  視覺校正相機:

  2000萬像素

  低噪聲,高精度



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