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參考價(jià) | 面議 |
- 公司名稱 北京埃光科技有限公司
- 品牌
- 型號
- 所在地 北京市
- 廠商性質(zhì) 其他
- 更新時(shí)間 2024/2/21 15:09:13
- 訪問次數(shù) 46
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商品描述·0.01、0.1、1.0或10Torr入口壓力·3×10-5Torr-L/s流量·2秒響應(yīng)時(shí)間(0.1Torr)·100、200或300amu系統(tǒng)·6個(gè)數(shù)量級的動(dòng)態(tài)范圍·RGAWindows軟件PPR系列過程監(jiān)控系統(tǒng)PPR過程監(jiān)控系統(tǒng)專為在線過程監(jiān)控和診斷而設(shè)計(jì)
·0.01、0.1、1.0 或 10 Torr 入口壓力
·3 × 10 -5 Torr-L/s 流量
·2 秒響應(yīng)時(shí)間 (0.1 Torr)
·100、200 或 300 amu 系統(tǒng)
·6個(gè)數(shù)量級的動(dòng)態(tài)范圍
·RGA Windows 軟件
PPR 過程監(jiān)控系統(tǒng)專為在線過程監(jiān)控和診斷而設(shè)計(jì)。為殘余氣體分析儀 (RGA) 提供了兩條路徑:用于監(jiān)測基礎(chǔ)真空的高電導(dǎo)率路徑和用于在工作壓力下監(jiān)測過程的減壓路徑。減壓路徑包含一個(gè)微孔,設(shè)計(jì)用于在以下壓力之一下運(yùn)行:0.01、0.1、1 或 10 托。它將樣品壓力降低到 RGA 的工作壓力(約
連接到您的工藝室的入口組件可以通過多種方式進(jìn)行配置(參見圖紙)。該系統(tǒng)包括 RGA、旁通閥組件和三通、控制器、渦輪泵、隔膜泵和用于數(shù)據(jù)采集和控制的 Windows 軟件程序。
該軟件用于在各種模式下操作儀器,包括模擬掃描、直方圖模式和壓力與時(shí)間模式。法拉第杯和電子倍增器探測器都是 PPR 系統(tǒng)的標(biāo)準(zhǔn)配置。電子倍增器提供額外的靈敏度和更高的掃描速度。PPR 系統(tǒng)在出廠時(shí)已組裝和校準(zhǔn),可以連接到您的真空處理室。
PPR 規(guī)格 | |
表現(xiàn) | |
氣體流量 | 3 × 10 -5 mbar-L/s,減壓入口處于活動(dòng)狀態(tài) |
響應(yīng)時(shí)間 | 0.1 mbar 入口壓力下 2 秒(隨壓力成線性比例) |
啟動(dòng)時(shí)間 | 標(biāo)稱 8 分鐘 |
連接 | |
進(jìn)口 | 2.75" CF法蘭,帶通孔可旋轉(zhuǎn) |
渦輪泵到控制器 | 6 英尺電纜(已提供) |
渦輪增壓到前級泵 | 6 英尺軟管(提供), 1/4" ID × 7/16" OD |
電腦接口 | RS-232C(28,800 波特,9 針 D 連接器) |
軟件 | RGA Windows 應(yīng)用程序 |
泵 | |
高真空 | 混合渦輪分子/阻力泵,70 L/s, 極限壓力 |
后盾 | 極限壓力小于 1 mbar 的隔膜泵。防護(hù)等級 IP44 |
冷卻 | 需要強(qiáng)制風(fēng)冷 |
一般的 | |
電源要求 | 110 VAC @ 60 Hz, 220 VAC @ 50 Hz (不可現(xiàn)場選擇,300 W) |
方面 | 因配置而異 (請參閱示例配置) |
重量 | 16 磅。(渦輪泵、旁通閥和三通,RGA) 33 磅。(隔膜泵和控制器) |
保修單 | 一年零件和人工材料或工藝缺陷。泵密封件和隔膜的保修期為 90 天。 |
*您想獲取產(chǎn)品的資料:
個(gè)人信息: