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日立超高分辨率冷場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡

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日立超高分辨率冷場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡現(xiàn)有機(jī)型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合，衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100

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日立超高分辨率冷場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡現(xiàn)有機(jī)型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合，衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100。

"Regulus系列"繼承了現(xiàn)有機(jī)型的觀察和分析性能，配備SU8200系列的低噪音冷場(chǎng)發(fā)射電子槍*1，可以獲得高穩(wěn)定的束流。

通過(guò)優(yōu)化電子光學(xué)系統(tǒng)，Regulus8240/8230/8220在1 kV條件下分辨率提高到0.7 nm，Regulus8100的分辨率提高到0.8 nm。

此外，為充分發(fā)揮超高分辨的能力，放大倍率也從過(guò)去的100萬(wàn)倍提升到200萬(wàn)倍*1。
Regulus8240/8230/8220/8100還完善了用戶(hù)支持功能，通過(guò)此功能用戶(hù)更容易理解各種復(fù)雜信號(hào)的檢測(cè)原理，幫助用戶(hù)充分發(fā)揮儀器的性能。


日立超高分辨率冷場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡樣品圖示

極低著陸電壓下高分辨觀察

極低著陸電壓下高分辨觀察
樣品：金顆粒
著陸電壓：10 V

超高分辨觀察

超高分辨觀察
樣品：Pt催化劑
加速電壓：30 kV

低加速電壓下高分辨EDX分析

低加速電壓下高分辨EDX分析
樣品：Sn球
著陸電壓：1.5 kV

 

  • *2

  • Regulus8240/8230/8220



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