特點(diǎn)
Omega/Theta X射線衍射儀是一個(gè)全自動(dòng)的垂直三軸衍射儀，使用Omega掃描和Theta掃描方法以及搖擺曲線測(cè)定各種晶體的方位。大而寬敞的設(shè)計(jì)可以容納長(zhǎng)達(dá)450毫米和30公斤的重量和樣品架。
所有的測(cè)量都是自動(dòng)化的，可以通過(guò)用戶友好的軟件界面進(jìn)行訪問(wèn)。利用Omega掃描，可以在晶體旋轉(zhuǎn)(5秒)中確定完整的晶格方向。Theta掃描更加靈活，但每次掃描只產(chǎn)生一個(gè)方向分量。
可以非常精確地確定傾斜角度，使用Theta掃描到0.001°。對(duì)于所有其他的晶體方向，精度取決于垂直于表面的角差。
該系統(tǒng)是模塊化的，并配備了許多不同的擴(kuò)展用于特殊目的，如形狀或平面的確定，繪圖和不同的樣品架。樣品的傾斜度是通過(guò)光學(xué)測(cè)量來(lái)檢測(cè)的，可以用來(lái)校正最終的方向。
單晶衍射儀
Omega掃描圖（SiC） 
渦輪葉片，一個(gè)方向組件的映射圖
(Si, Ge)晶圓，定位圖 
晶格參數(shù)映射圖
用戶友好和成本效益
樣品處理方便，操作方便
的,用戶友好的軟件
低能耗，低運(yùn)營(yíng)成本
模塊化設(shè)計(jì)和靈活性
Omega/Theta X射線衍射儀的應(yīng)用
具有多種幾何形狀和大小的樣品 單晶的工業(yè)合成從大而重的晶體開(kāi)始，到小塊如晶圓或坯。實(shí)驗(yàn)生長(zhǎng)產(chǎn)生微小的圓柱體。
根據(jù)材料和產(chǎn)量的不同，晶體樣品可以表現(xiàn)出多種尺寸和幾何形狀。
Omega/Theta X射線衍射儀可以處理大塊鋼錠或鋼球和實(shí)驗(yàn)合成的微小晶體。
非線性光學(xué)材料(NLO)：晶體質(zhì)量和定向 與典型的無(wú)機(jī)金屬、半導(dǎo)體和絕緣體相比，NLO材料具有更復(fù)雜的晶體結(jié)構(gòu)和更低的對(duì)稱性。這種結(jié)構(gòu)創(chuàng)造了一個(gè)高度各向異性的環(huán)境，
光通過(guò)晶體，并導(dǎo)致他們的特殊性質(zhì)。這些晶體通常被切割成尺寸在毫米范圍內(nèi)的小棒，作為頻率倍增器和光學(xué)參量振蕩器的有源元件。
對(duì)這種小晶體的表面質(zhì)量測(cè)定常常可以揭示晶體內(nèi)部的結(jié)構(gòu)缺陷和裂紋。
這些材料的大單位晶胞是Omega掃描方法的一個(gè)挑戰(zhàn)。我們能夠確定許多NLO材料，如LBO, BBO和TeO2的Omega掃描參數(shù)的最重要的方向。
對(duì)Omega/Theta的設(shè)計(jì)進(jìn)行了一些特殊的修改，以涵蓋幾種不同材料的NLO能力。
平面方向的標(biāo)記和測(cè)量 Omega掃描能夠在一次測(cè)量中確定完整的晶體方位。因此，平面方向可以直接識(shí)別。這是一個(gè)有用的功能，以標(biāo)記在平面方向或檢查方向的單位或缺口。
在晶圓片的注入和光刻過(guò)程中，平面或凹槽作為定位標(biāo)記。經(jīng)過(guò)加工后，晶圓片攜帶數(shù)百個(gè)芯片，需要通過(guò)切割將其分離。
晶片必須正確地對(duì)準(zhǔn)晶圓片上易于切割的晶格面。因此，檢查平臺(tái)或缺口的位置是必要的。為了確定平面或缺口的位置，必須測(cè)量平面內(nèi)的部件。
該儀器通過(guò)旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)盤，可以將任何平面方向轉(zhuǎn)換成用戶的特定位置。這簡(jiǎn)化了將標(biāo)記應(yīng)用到特定平面方向的任務(wù)，例如必須定義平面方向時(shí)。
對(duì)于高吞吐量應(yīng)用程序，可提供自動(dòng)測(cè)量解決方案。
搖擺曲線:晶體表面評(píng)價(jià) 搖擺曲線測(cè)量對(duì)晶格內(nèi)的缺陷和應(yīng)變場(chǎng)很敏感。將這種技術(shù)與映射階段相結(jié)合，可以掃描晶體表面并確定缺陷區(qū)域。在晶格匹配的薄膜中，
搖擺曲線也可以用來(lái)研究層厚、超晶格周期、應(yīng)變和成分剖面、晶格失配、三元結(jié)構(gòu)和弛豫。
晶圓片表面必須達(dá)到非常高的清潔和均勻性標(biāo)準(zhǔn)。制造商正努力使晶體的位錯(cuò)和缺陷盡可能少。特別是在碳化硅方面，消除錯(cuò)位為這種材料提供了新的應(yīng)用領(lǐng)域。
通過(guò)裝備一個(gè)具有映射階段和雙晶體的Omega/Theta衍射儀，可以測(cè)量晶體表面某一反射的搖擺曲線映射。圖像顯示的結(jié)果，這種映射的碳化硅晶圓。
晶圓片的內(nèi)部呈現(xiàn)出兩到三倍于搖擺曲線的FWHM。這可能與表面劃痕或生長(zhǎng)缺陷有關(guān)。
