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硬X射線鏡

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多層KB鏡


基板尺寸：500×100mm2
W / C多層膜涂層


用于K-B鏡像系統(tǒng)的多層反射鏡


反射率的評(píng)價(jià)例（波長(zhǎng)：0.154nm，藍(lán)色：測(cè)定值，粉紅色：計(jì)算值，周期長(zhǎng)度2.95nm）


平面鏡


· 基板尺寸：140×10mm2

· Pt單層膜涂層







圓柱鏡

· 圓柱面部件尺寸：100×10mm2
· 曲率半徑4毫米
· Ru單層膜涂層




橢圓鏡


· 基板尺寸：110×80mm2



三色鏡


三色全反射鏡：




多層偏振器（Multilayer polarizer）


基板尺寸：20×20mm2



反射率實(shí)測(cè)值（入射角45°）



反射率的評(píng)價(jià)例（波長(zhǎng)0.154nm，藍(lán)色：測(cè)定值，紅色：計(jì)算值，循環(huán)長(zhǎng)度0.93nm）




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