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半導體顯微鏡 L200/L300

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FPD/LSI檢查顯微鏡ECLIPSEL300ND、L300N和L200ND、L200N這一系列的顯微鏡是檢查硅片、顯示屏等大型樣品的理想選擇

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FPD/LSI檢查顯微鏡 ECLIPSE L300ND、L300N和L200ND、L200N

這一系列的顯微鏡是檢查硅片、顯示屏等大型樣品的理想選擇。


用于檢查大型樣品的高級顯微鏡

采用尼康CFI60-2光學系統設計,成像清晰;可搭配數碼相機。


尼康ECLIPSE L300N(D)和L200N(D)

用于硅片(L200N系列為200mm,L300N系列為300mm)、分劃板和其它大型平板類電子零部件的光學檢查。


尼康CFI60-2光學系列

尼康的創新設計,支持實現清晰的、高對比度的明場、暗場、熒光、偏光(POL)、微分干涉(DIC)鏡檢,以及雙光束干涉測量。


尼康Digital Sight數碼相機

尼康全系列Digital Sight數碼相機都能高效地進行拍照,并可將當前在用物鏡、倍率轉換設置和照明光亮度等參數一起傳送到NIS-Elements顯微鏡圖像處理軟件中。


L200N與NWL200聯合使用

在半導體行業中得到廣泛認可和信任,目前有許多裝置在使用。





產品亮點

尼康CFI60-2光學系統

尼康的創新設計光學系統成像清晰,支持多種顯微鏡鏡檢。

反射照明下可選擇的鏡檢方式有:明場、暗場、偏光(POL)、微分干涉(DIC)、熒光和雙光束干涉;


多種鏡檢方式

透射照明下可選擇的鏡檢方式有:明場、暗場、偏光(POL)、微分干涉(DIC)和相差。



數字化智能通信

顯微鏡通過USB與尼康NIS Elements軟件相連,可檢查并控制物鏡轉換、照明亮度、光闌動作等。



人體工學設計

使用傾角可調的目鏡筒,可使操作者更為舒適地觀察樣品,消除疲勞。

主要用于觀察原材料、半導體和工業零部件。



核心功能









行業

主要用途集中在電子通訊領域的零部件檢查,如硅片、液晶顯示屏等。反射熒光*可用來有效地檢查光刻膠殘留,檢查有機EL顯示屏。

*僅L300N/L300ND/L200ND



ECLIPSE L200N  (反射照明專?)ECLIPSE L200ND  (反射 / 透射照明兩?)
主機機?12V50W 調光 ?  內置電源
對焦部:?程 29mm
粗動:  12.7mm/ 轉(帶扭距調節 ?  再對焦機能)
微動:  0. 1mm/ 轉 (以 μ m 為刻度)
控制部:物鏡轉換、調光、孔徑光闌開關、反射 / 透射切換(僅?于 L200ND)
物鏡轉換器:  6 孔電動通?、帶微分?涉滑塊插孔
反射照明部12V50W ?亮度鹵素燈照明裝置
孔徑光闌(電動 ?  可調?)、視場光闌(固定 ?  帶對焦?標)
可插??孔光闌滑塊(OPTION)
可插? ?25mm 濾光?(NCB 、ND2 、ND4)、起偏器 / 檢偏器
觀察?法:明場、暗場、簡易偏光、微分?涉、反射熒光(僅?于 L200ND)
透射照明部
12V50W ?亮度鹵素燈照明裝置
內置孔徑光闌
內置 LWD 聚光器
表?USB × 1 、RS232C  (INTENSILIGHT ?)× 1
鏡筒L2-TTA 超?視場正?調傾式三?鏡筒(視? 0°~30°)
視場數 25、光分光 100:  0/0:  100
L2-TT2A 超?視場正?調傾式三?鏡筒(俯? 0°~30°)
視場數 25、分光? 100:  0/20:  80
LV-TI3  正?三?鏡筒
視場數 25、光分光 100:  0/0:  100
?鏡CFI ?鏡
物鏡CFI60 系統物鏡
載物臺L2-S8A  8×8 載物臺、?程 205mm ×205mm  (透射觀察范圍:  150mm×150mm)
帶粗 / 微動切換功能
微動?輪位置固定
防靜電功能從 1000 到 10V 放電時間在 0.2 秒以內
耗電1.2A/90W
尺?約 360  (W)× 580  (H)×860  (D)  mm
重量顯微鏡單體:約 30kg、載物臺(含鏡筒):約 45kg




ECLIPSE L300NECLIPSE L300NDECLIPSE L200NECLIPSE L200ND
(Episcopic illumination type)(Diascopic/Episcopic illumination type)(Episcopic illumination type)(Diascopic/Episcopic illumination type)
Main body12V-50W halogen lamp light source built in; Power sources for motorized control built in
Motorized control for nosepiece, Light intensity control, Aperture diaphragm control
Nosepiece: Motorized universal sextuple nosepiece with nosepiece centering functionNosepiece: Motorized universal sextuple nosepiece
Epi/Dia changeoverEpi/Dia changeover
Focusing mechanismCross travel: 29 mm
Coarse: 12.7 mm per rotation (torque adjustable, refocusing mechanism provided)
Fine: 0.1 mm per rotation (in 1μm increments)
Episcopic illuminator12V-50W halogen lamp light source built in
Motorized aperture diaphragm (centerable), Fixed field diaphragm (with focus target)
Pinhole slider (optional), Four ?25 mm filters (NCB11, ND16, ND4), Polarizer and Analyzer can be mounted
Observation methods: Brightfield, Darkfield, Simple polarizing, DIC, Epi-fluorescence*
* L300N/L300ND/L200ND only
Diascopic illuminator12V-50W halogen lamp light source built in Aperture diaphragm built in12V-50W halogen lamp light source built in Aperture diaphragm built in
LWD condenser built inLWD condenser built in
InterfaceUSB x 1, RS232C (for Intensilight) x 1
Eyepiece tubesL2-TT2A Ultrawide?eld erect-image tilting trinocular eyepiece tube (tilt angle: 0-30 °) FOV: 22/25; Beamsplit ratio 100:0/20:80
L2-TTA Ultrawidefield erect-image tilting trinocular eyepiece tube (tilt angle: 0-30 °) FOV: 22/25; Beamsplit ratio 100:0/0:100
LV-TI3 Trinocular eyepiece tube (erect image) FOV: 22/25; Beamsplit ratio 100:0/0:100
EyepiecesCFI eyepiece lens series
ObjectivesCFI LU/L Plan series
Stages14 x 12 stage, stroke: 354 x 302 mmL2-S8A 8 x 8 stage, stroke: 205 x 205 mm
(Diascopic observation range: 354 x 268 mm)(Diascopic observation range: 150 x 150 mm)
Coarse/Fine-movement changeover possibleCoarse/Fine-movement changeover possible
Fixed-position X-Y fine-movement controlsFixed-position X-Y fine-movement controls
Antistatic mechanism1000-10 V, within 0.2 sec
Power consumption1.2 A/90 W1.2 A/90 W
DimensionsApprox. 360 (W) x 951 (D) x 581 (H) mm (at tilt angle 10 °)Approx. 360 (W) x 860 (D) x 580 (H) mm (at tilt angle 10 °)
WeightApprox. 40 kg (Body only)Approx. 30 kg (Body only)
Approx. 64 kg (When L2-S8A 8 x 8 stage and L2-TTA eyepiece tube are used)Approx. 45 kg (When L2-S8A 8 x 8 stage and L2-TTA eyepiece tube are used)




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