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4200A-SCS 參數分析儀

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親眼見證創新! 4200A-SCS 是一種可以量身定制、全面集成的參數分析儀,可以同步查看電流電壓(I-V)、電容電壓(C-V)和超快速脈沖式I-V 特性。作為性能的參數分析儀,4200A-SCS 加快了半導體、材料和工藝開發速度。4200A-SCS ClariusTM 基于GUI 的軟件提供了清楚的、不折不扣的測量和分析功能。憑借嵌入式測量專業知識和數百項隨時可以投入使用的應用測試,Clarius Software 可以更深入地挖掘研究過程,快速而又滿懷信心。4200A-SCS 參數分析儀可以根據不同用戶需求進行靈活配置,不管是現在還是未來,都可以隨時對系統進行升級。通過4200A-SCS 參數分析儀,通往發現之路現在變得異常簡便。

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親眼見證創新! 4200A-SCS 是一種可以量身定制、全面集成的參數分析儀,可以同步查看電流電壓(I-V)、電容電壓(C-V)和超快速脈沖式I-V 特性。作為性能的參數分析儀,4200A-SCS 加快了半導體、材料和工藝開發速度。

4200A-SCS ClariusTM 基于GUI 的軟件提供了清楚的、不折不扣的測量和分析功能。憑借嵌入式測量專業知識和數百項隨時可以投入使用的應用測試,Clarius Software 可以更深入地挖掘研究過程,快速而又滿懷信心。

4200A-SCS 參數分析儀可以根據不同用戶需求進行靈活配置,不管是現在還是未來,都可以隨時對系統進行升級。通過4200A-SCS 參數分析儀,通往發現之路現在變得異常簡便。

主要性能指標

I-V 源測量單元(SMU)

● ± 210 V/100 mA 或± 210 V/1 A 模塊

● 100 fA 測量分辨率

● 選配前端放大器提供了10 aA測量分辨率

● 10 mHz - 10 Hz 超低頻率電容測量

● 100 mF 負載電容

● 四象限操作

● 2 線或4 線連接

C-V 多頻率電容單元(CVU)

● AC 阻抗測量(C-V, C-f, C-t)

● 1 kHz - 10 MHz 頻率范圍

●± 30 V (60 V差分)內置DC偏置源,可以擴展到± 210 V(420 V 差分)

●選配CVIV 多通道開關,在I-V 測量和C-V 測量之間簡便切換

脈沖式I-V 超快速脈沖測量單元(PMU)

● 兩個獨立的或同步的高速脈沖I-V 源和測量通道

● 200 MSa/s,5 ns 采樣率

● ±40 V (80 V p-p),±800 mA

● 瞬態波形捕獲模式

● 任意波形發生器,支持多電平脈沖波形,10 ns 可編程分辨率

高壓脈沖發生器單元(PGU)

● 兩個高速脈沖電壓源通道

● ±40 V (80 V p-p),± 800 mA

● 任意波形發生器,支持多電平脈沖波形,10 ns 可編程分辨率

I-V/C-V 多通道開關模塊 (CVIV)

● 在I-V測量和C-V 測量之間簡便切換,無需重新布線或抬起探針

● 把C-V測量移動到任意端子,無需重新布線或抬起探針

● 支持±210 V DC 偏置源

遠程前端放大器/ 開關模塊(RPM)

● 在I-V 測量、C-V 測量和超快速脈沖I-V 測量之間自動切換

● 把4225-PMU的電流靈敏度擴展到數十皮安

● 降低電纜電容效應


為材料、半導體器件和工藝開發提供優秀的參數分析儀



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