自動300 mm晶圓搬送機(jī) AL120-12 規(guī)格 

AL120-LMB12-LP 

AL120-LMB12-F 

晶圓尺寸 

300 mm（SEMI M1.15 t＝775 μm）可選：200 mm 

卡盒 

●FOUP（Front Opening Unified Pods）前開門標(biāo)準(zhǔn)夾 
●SEMI：E47.1-0200規(guī)格產(chǎn)品 
●FIMS-FOSB, FOSB 

●FOSB（Front Opening Shipping Box）前開門搬運(yùn)盒 
●SEMI：M31-0999規(guī)格產(chǎn)品 

卡盒數(shù) 

單盒（裝載、卸載兼用） 

卡盒設(shè)置高度 

900 mm 

裝載端口 

有 

無 

搬運(yùn)順序 

表面宏、內(nèi)面宏、顯微鏡檢查 

檢查模式 

全部檢查、抽樣檢查 

晶圓校準(zhǔn) 

非接觸式中心環(huán) 

晶圓搬運(yùn)方式 

真空吸附機(jī)械搬運(yùn) 

適用顯微鏡 

半導(dǎo)體檢查顯微鏡MX61L 

應(yīng)用環(huán)境 

AC100～120 V，220～240 V，3.0/1.7 A，50/60 Hz 
真空-67～-80 Kpa 

載物臺 

XY手動吸附載物臺，有XY粗調(diào)／微調(diào)和360度旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu) 

重量（不包括顯微鏡） 

約360 kg 

約270 kg