產品參數
- 材料：玻璃、玻璃/樹脂、金屬、硅等
- 最小光柵結構寬度：30nm
- 二維光柵結構形狀：矩形、三角形（閃耀光柵）、斜齒
- 三維光柵結構形狀：納米柱、納米孔
- 光柵結構深寬比：可達10：1
- 加工面積：12英寸
納米制造工藝自有核心納米加工產線，包括光刻、蒸鍍、裁切、封裝等
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