小的半英寸晶圓表面顆粒檢查設備。
小標準半英寸晶片表面上的異物（顆粒）的高速掃描實時顯示在觸摸屏顯示器上。

根據低規格檢查顯示/運輸操作。
可以通過簡單的操作快速掌握晶片的顆粒狀態。

　

 

小檢測粒徑為0.1μm。

測量結果示例

 

　　　

設備規格

掃描方式

螺旋掃描

工作安裝

低標準的自動運輸

能量消耗

AC100V /大10A

小檢測粒徑

0.1微米

重現性

σ/ X≦10％

測量時間

1分鐘以內，包括運輸（測量重復性90％或更高）

待檢查的基材

硅片等