與普通CVD相比較，其沉積溫度大大降低，減少了高溫多薄膜損壞可以通過爐體滑動來達到快速升溫 和快速障溫的效果

爐體有兩個溫區，可在爐體內形成溫度梯度，兩個溫區溫差為400℃管式爐工作溫度為1100℃

帶有預熱爐，溫度為1100℃，氣體可通過此爐預熱也可將液體蒸發氣化或固體原料升華后與氣體原料混合。

雙溫區滑軌爐

連續工作溫度為1100℃

爐膛保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維，并且內爐膛表面涂有美國進口的1750度高溫氧化鋁涂層，可以提高加熱效率，反射率及延長儀器的使用壽命（點擊文字查看詳細資料）兩個溫控系統獨立控制兩個溫區，都可設置30段升降溫程序每個溫區長度為200mm總溫區長度∶ 400mm

恒溫區∶200mn（兩個溫區設置同樣的溫度）注∶由于則量手段及外部環境的影響，則里結果可能會有偏差，此參數僅供參考不作為該設備的技術指標。您購買產品需要準確的恒溫區數據，請與我公司銷售人員

兩個溫區溫差為∶400℃爐管材料∶高純石英管

石英管尺寸∶50mm OD x 44ID x 2200mmL所需電源∶208-240VAC單相

功率∶4KW

輸出功率∶ 5 -500W可調穩定性為∶ +/-1%

射頻電源頻率∶1356MH， 穩定性=0.005%

反向功率∶200W

射頻電源電子輸出口∶50ΩN型半導體.

陰極噪音∶<50 dB.

冷卻方式∶空氣冷卻

輸入電源∶208-240VAC，50/60Hz

一款小型單溫區管式爐，加熱區為200mm

溫度∶ 1100℃

可設置30段升降溫程序控溫儀表操作視頻

氣體通過等離子射頻電源前，先通過預熱爐

也可將固體和液體原料放在預熱爐中，氣化后與氣體原料相混合

可以從本公司選購以下幾種真空泵

如您想獲得更高的真空度（<10-》tor orbeter）可選國產或進口高真空機組配有擋板閥、波紋管和卡箍等真空配件

FS485接口和控溫軟件可安裝在爐體內，將控溫程序和溫度曲線導入電腦中（儀器中不包含，客戶需額外出費用 在本公司購買）

為了獲得的升溫速率，可將爐體升溫到設定溫度，然后將爐體滑到樣品盛放位置

加熱速率

冷卻速率

15°C/sec (000-950℃C); 15°℃C/sec(RT-150°℃C)

10-C/sec(950℃.900℃C); 10℃C/sec(150℃-250°C); 7C/sec(250℃C.350℃C);

7C/sec(900℃C-850°℃); 4℃C/sec(850℃-750℃C); 4°℃C/see350℃-500°℃C);

23C/e750℃C-600°℃); 3℃C/ec350℃-550°℃C);

1.5℃C/sec (600℃C-500°℃); 2℃C/sec (550℃-650°℃);

1°C/sec (500°℃.400°℃); 1C/sec (650°C-800℃C);

0.5℃C/sec (400℃-300℃);

0.5℃C/sec (800°℃C-1000°C);

爐體∶550x380x 520 mm

滑軌長度∶ 1750 mm