| 參考價 | 面議 |
聯系方式：孫昌存 17705151334 查看聯系方式
聯系我們時請說明是儀器網上看到的信息，謝謝!
三溫區1500°C PECVD系統是一款三溫區1500℃的PECVD管式爐系統，它是由500W的射頻電源，1500℃三溫區管式爐、多通道質子混氣系統和真空系統組成。此款PECVD系統對于生長納米線、石墨烯或SiC薄膜是一個新的實驗幫手。
| 三溫區開啟式1500°C管式爐 | 工作溫度1500℃連續使用溫度1400℃ 個溫區分別由三個溫控系統來控制，都可設置30段升降溫程序每個溫區長度為200mm總溫區長度為600mm爐管為高純剛玉管 爐管尺寸∶（標配）60ODx53IDx1500mmL爐管尺寸∶（選配）800O.Dx73IDx1500mmL輸入電源∶ 208-240VAC，單相功率∶ 6.6KW 配有一對不銹鋼真空密封法蘭，法蘭上帶有石英觀察窗口 內爐膛表面涂有美國進口的1760度高溫氧化鋁涂層，可以提高設備加熱效率及反射率，同時延長儀器的使用壽命。 |
| 射頻電源 | 輸出功率∶5-500W±1% 射頻頻率∶13.56 MHz ±0.005%. 反射功率∶ 200W 匹配∶自動 射頻接口∶50 Ω，N-type 噪音∶<50 dB. 冷卻∶風冷 電源∶AC 208-.240V;5060Hz
|
| 防腐型真空計 | 輸入電源 24V，1A DC（配有一電壓轉換器） 測量范圍 3.8x10-5 1125 Torr. 數據顯示 數字顯示（屏幕尺寸為20x14mm），其數據顯示單位為tor接頭 1/8"NPT 接頭 產品尺寸 46mm×28mm×126mm（長*寬*高） |
| 真空系統 | 采用TRP-12的雙旋真空泵，極限真空10E.3 Torr KFD25快接，不銹鋼波紋管，手動擋板閥與法蘭，真空泵相連管內真空可達10E-2 Torr |
| 質量流量計混氣系統 | 四個精密的質量流量計（精度15%）∶數字顯示，自動控制． MFC 1范圍∶0~100 cm MFC 2和3∶ 0~200 sccm MFC 4范圍∶0~500 scm一個混氣罐，底部裝有泄廢液口. 4個不銹鋼針閥安裝在供氣系統的左側，可手動控制4種氣體進氣口∶4個14NPS.出氣口∶4個 14NPs. 采用PLC控制流量計，通過觸摸屏進行控制 |
| 溫控系統 | 三個溫區分別由三個溫控系統控制采用PID方式調節溫度，可設置30段升降溫程序帶有超溫和斷偶保護控溫精度∶ +/- 1 °℃控溫儀表操作視頻 可選;此款設備可以安裝控制模塊，將溫度設置和溫度曲線導入到電腦 |
| 外形尺寸 | 爐體∶ 550x380x520 mm爐體下端移動柜∶ 1800×600×600mm凈重∶ 220Lbs.運輸重量∶ 1200lbs
|
| 質保期 | 一年質保，終生維護 |
| 質量認證 | CE認證 所有電器元件（>24V）都通過UL /MET/CSA認證 若客戶出認證費用，本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CAS認證
|
|
|
|
|
|
|
*您想獲取產品的資料：
個人信息：
