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雙爐體滑動PECVD系統&循環手套是一款雙爐體滑動的PECVD系統，并目連接有循環手套箱。此款設備中石英爐管與一循環手套箱相連接，允許客戶用CVD方法把樣品制作好以后，直接把樣品移入到氣氛保護環境下的手套箱中。爐體采用滑動式，可在室驗中對樣品進行快速加熱和快速冷卻。此款儀器特別適合新—代納米材料和二維晶體材料的探索研究。
| 爐體結構 | 兩個爐體在一個滑軌上面，和通過對爐體的滑動達到對樣品快速加熱和快速冷卻的效果 連續工作溫度∶1100℃ 兩個爐體都可以設置30段升降溫程序 |
| 等離子體射頻電源 | 輸出頻率∶13.56 MHz ±0.005% 射頻頂值功率∶ 500W 匹配∶ 自動匹配 噪音∶<50 dB. 冷卻∶空氣冷卻 輸入電源∶208-240VAC， 單相， 50/60Hz |
| 真空系統 | 采用vRD-16的雙旋真空泵， 極限真空10E-3 Torr KFD25快接，不銹鋼波紋管，手動擋板閥與法蘭，真空泵相連 管內真空可達10E-2 Torr |
| 質量流量計混氣系統 | 四個精密的質量流量計（精度1.5%）∶ 數字顯示，自動控制. MFC1范圍∶ 0~100 sccm MFC2和3∶ 0~200 sccm MFC4范圍∶ 0~500 sccm 一個混氣罐，底部裝有泄廢液口. 4個不銹鋼針閥安裝在供氣系統的左側，可手動控制4種氣體. 進氣口∶4個1/4NPS. 出氣口∶4個 1/4NPps. 采用PLc控制流量計，通過觸摸屏進行控制 可選購氣液混合裝置，用于cvD系統 |
| 爐管&密封法蘭 | 高純石英管，尺寸50毫米 O.D x 44毫米 I.D x 1800 毫米 L 配有一套不銹鋼密封法蘭，并且上面安裝有真空計 |
| 防腐型真空計 | 輸入電源 24v，1A DC（配有一電壓轉換器） 測量范圍 3.8x10-5 --1125 Torr. 數據顯示 數字顯示（屏幕尺寸為20x14mm），其數據顯示單位為torr 接頭 KF16 接頭 產品尺寸46mm×28mm×126mm（長x寬x高） |
| 循環手套箱 | 手套箱尺寸∶ 780mm（長）x700mm（寬）×650mm（高） 帶有除水系統∶保持水含量<2 ppm -真空法蘭在手套箱的左邊，與PECVD系統的石英管相連接 |
| 質保期 | 一年質保期，終身維護（不包含爐管，加熱元件和密封圈） |
| 質量認證 | CE認證 所有電器元件（輸入電源<24V）都通過連UL/MET/CSA認證 |
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