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OTF-1200X-80-III-F3LV 1200°C三溫區三通道混氣CVD系統

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三溫區三通道混氣CVD系統是一款CE認證的三溫區管式爐CVD系統,其管徑為80mm,采用機械泵,它是由管式爐,三路浮子流量供氣系統組成,其真空度可達到10-2torr。

詳細信息 在線詢價

殼體結構
功率5KW
電壓

AC 208-240V單相,50/60Hz

加熱元件Fe-Cr-A1 Alloy doped by Mo
最高工作溫度1200°C
連續工作溫度1100°C
最大加熱速率

<=20°C/min

石英管&密封法蘭
加熱區長度

*三個溫區長度:(880mm,35“in total)

*溫區1:220mm(8.6“)

*溫區2:440mm(17.3“)

溫區3:220mm(8.6“)注:由于測量手段及外部環境的影響,測量結果可能會有偏差,此參數僅供參考不作為改設備的技術指標。您購買產品需要準確的恒溫區數據,請與我公司銷售人員聯系

溫控系統
控溫精度+/-1°C
真空密封系統
真空泵

采用雙旋機械泵,機械泵上安裝有進口的油污過濾器,可以過濾真空泵工作時產生的油煙,減少泵油的損耗,保護環境和人體健康,過濾的最小微粒直徑為0.3微米

數字式真空顯示計
氣體流量計和壓力表
閥門四個不銹鋼閥門安裝在浮子流量供氣系統側面上,用于控制氣體的流量
外形尺寸

爐子:1100*450*670mm

底部移動架:600*600*597mm

開門斷電
凈重約90Kg
運輸重量

2451bs

質保期一年質保期,相關耗材除外,如爐管,密封圈,等易耗件
質量認證CE認證

 

南京淳寅嘉生物科技有限公司

|

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電話:86-025-83684952

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