OTF-1200X-50S-PE-S 小型滑動PECVD管式爐系統(tǒng)

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公司名稱 南京淳寅嘉生物科技有限公司
品牌
型號 OTF-1200X-50S-PE-S
所在地 南京市
廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
更新時間 2021/3/30 8:59:39
訪問次數(shù) 449

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2020年01月08日至 2020年02月08日

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模內(nèi)澆口分離自動化，降低對人的依賴度；傳統(tǒng)的塑膠模具開模后產(chǎn)品與澆口相連，需二道工序進(jìn)行人工剪切分離，模內(nèi)熱切模具將澆口分離提前至開模前，消除后續(xù)工序，有利于生產(chǎn)自動化，降低對人的依賴。

小型滑動PECVD管式爐系統(tǒng)是一款小型的PECVD（Plasma Enhanced ChemicalVapor Deposition）（等離子體化學(xué)氣相沉積）滑動式開啟式管式爐系統(tǒng)。此套設(shè)備?帶有300W的等離子射頻電源，—個爐管直徑為50mm的開啟式管式爐（帶有真空法蘭和連接管道）和機(jī)械泵組成。因此這套設(shè)備模型可以更新為不同的?PECVD 系統(tǒng)。對于有限的經(jīng)費(fèi)的情況下來進(jìn)行材料探索；

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特點(diǎn)	與普通CVD相比可以在低溫環(huán)境下進(jìn)行氣相沉積實(shí)驗(yàn)可以通過爐體滑動達(dá)到快速升溫和降溫對于薄膜的應(yīng)力可以通過射頻電源的頻率來進(jìn)行控制通過工藝調(diào)節(jié)來控制化學(xué)計(jì)量可以沉積各種材料，如SiOx.SiNx.SiOxNy和（a-SiH）等
開啟式管式爐	輸入電源∶208-240V AC，功率;1.2kW 工作溫度頂值1200℃，小于60分鐘爐膛保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維，并且內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層，可以提高加熱效率，反射率及延長儀器的使用壽命（點(diǎn)擊文字了解涂層的詳細(xì)參數(shù)）連續(xù)工作溫度1100°C 爐管采用高純石英管∶50mmOD x 44mmID x 1000mm L 可設(shè)置30段升降溫程序，并且?guī)в羞^熱和斷偶保護(hù)功能加熱區(qū)長度∶200mm 單溫區(qū) 恒溫區(qū)2.3"（60mm）（+-15℃）@ 1000℃ 注∶ 由于測量手段及外部環(huán)境的影響，測里結(jié)果可能會有偏差，此參數(shù)僅供參考不作為該設(shè)備的技術(shù)指標(biāo)。您購買產(chǎn)品需要準(zhǔn)確的恒溫區(qū)數(shù)據(jù)，請與我公司銷售人員
等離子體射頻電源	輸出功率：5 .300W 可調(diào) 穩(wěn)定性±1% 射頻電源頻率∶ 13.56 MHz 穩(wěn)定性±0.005% 反向功率頂值∶ 200W 匹配∶ 自動射頻電源電子輸出端口∶ 50 Ω，N型半導(dǎo)體，陰極噪音∶ <50 dB. 冷卻∶風(fēng)冷電源∶208-240VAC，50/60HZ
真空法蘭和接頭	真空法蘭采用 304不銹鋼制作. 左端法蘭上安裝有 KF-25真空接口，2個KF-25快速卸裝卡箍，KF-25直角閥，KF-25真空波紋管和 1/4軟管接頭和不銹鋼針閥
真空泵及水冷機(jī)	AC 220V 50 Hz 1/2HP 375W 2Liter /S 出氣端安裝有油霧過濾器（防止油霧擴(kuò)散到空氣中，保護(hù)環(huán)境和人體健康）真空度∶ 10-2 torr 可選水冷機(jī)
產(chǎn)品尺寸和重量	外形尺寸 1500mm x 600mm x 1200mm （長x寬x高）凈重∶160kg
質(zhì)保期	年質(zhì)保期，終身維護(hù)（相關(guān)耗材除外，如爐管，密封圈等易耗件）
質(zhì)量認(rèn)證	CE Certified
使用注意事項(xiàng)：	工作時需連接水冷設(shè)備爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa 由干氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa，使用時會更加準(zhǔn)確安全當(dāng)爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài) 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200sCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊石英管的長時間使用溫度< 1100℃ 對于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）