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三溫區三通道混氣CVD系統是一款CE認證的三溫區管式爐CVD系統，其管徑為80mm，采用機械泵，它是由管式爐，三路浮子流量供氣系統組成，其真空度可達到10-2t...

雙爐體滑動PECVD系統&循環手套是一款雙爐體滑動的PECVD系統，并目連接有循環手套箱。此款設備中石英爐管與一循環手套箱相連接，允許客戶用CVD方法把樣品制作...

小型滑動PECVD管式爐系統是一款小型的PECVD（Plasma Enhanced ChemicalVapor Deposition）（等離子體化學氣相沉積）滑...

三溫區1500°C PECVD系統是一款三溫區1500℃的PECVD管式爐系統，它是由500W的射頻電源，1500℃三溫區管式爐、多通道質子混氣系統和...

4路質子混氣管式PECVD系統為了使化學反應能在較低的溫度下進行，利用了等離子體的活性來促進反應，因而這種CVD稱為等離子體增強化學氣相沉積法（PECVD），內...

OTF-1200X-50-I-4CV-PE-MSL是一款雙溫區的PE-CVD管式爐系統，組成部分為500W的射頻發生器、滑動速度可控的雙溫區滑軌爐，預熱爐（作用...